JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

J VAC SCI TECHNOL A · ISSN 0734-2101 · EISSN 1520-8559 · 收录年度 2018–2026 · 共 8 年
分区口径 最新(中科院 2025 + 新锐 2026 + JCR 2026) 2025 年中科院 2023 年中科院 2022 年中科院 2021 年中科院(升级版) 2020 年中科院(升级版) 2019 年中科院(升级版) 2018 年中科院(基础版)

分区结论

口径:中科院分区 · 2018 年 —— 2025 年及以前只有这一套分区表,因此这里只显示对应年度。 想看当前口径请看 最新分区
3 区
大类学科:工程技术
加入对比

投稿信息

投稿入口、版面费、审稿周期等信息来自公开渠道与期刊官网,仅供参考,请以期刊官方发布为准。
版面费
是否 OA
审稿周期 一审约 32
一审约 32 天
录用比例
出版商 American Institute of Physics
出版国家 / 语言 United States
主题词:Semiconductor materials and devices; Metal and Thin Film Mechanics; Plasma Diagnostics and Applications; Ion-surface interactions and analysis; Diamond and Carbon-based Materials Research; Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques; Copper Interconnects and Reliability; ZnO doping and properties; Surface and Thin Film Phenomena; Electronic and Structural Properties of Oxides; Advanced Chemical Physics Studies; GaN-based semiconductor devices and materials; Catalytic Processes in Materials Science; Semiconductor materials and interfaces; Thin-Film Transistor Technologies; Ga2O3 and related materials; Semiconductor Quantum Structures and Devices; Chalcogenide Semiconductor Thin Films; Advanced Semiconductor Detectors and Materials; Gas Sensing Nanomaterials and Sensors; nanoparticles nucleation surface interactions; Silicon Nanostructures and Photoluminescence; Force Microscopy Techniques and Applications; Molecular Junctions and Nanostructures; Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

2018 年 · 小类分区

同一本刊在不同小类下可能分属不同分区,投稿时按你所在的小类看。
小类学科分区
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学:膜 4 区
PHYSICS, APPLIED 物理:应用 4 区

分区走势

只统计同一套口径的历史年度,跨口径不比较。
中科院(升级版)
2019
3 区
材料科学
2020
2 区
材料科学
2021
3 区
材料科学
2022
2 区
材料科学
2023
3 区
材料科学
2025
4 区
材料科学
中科院(基础版):2018–2021 年发布的另一套中科院方案, 按 3 年平均 IF 分 13 个大类(升级版按期刊超越指数分 18 个大类)。 两套的分类法与区数都可能不同,不做换算。
2018
3 区
工程技术
3年均IF 1.620
2019
4 区
工程技术
3年均IF 1.656
2020
4 区
工程技术
3年均IF 1.920
2021
4 区
工程技术
3年均IF 2.142

影响因子

2015 年
1.724
2018 版
2016 年
1.374
2019 版
2017 年
1.761
2020 版
2018 年
1.833
2021 版
2019 年
2.166
2021 版
2020 年
2.427
2021 版
2025 年
2.500
2026 版
分区表版本3 年平均 IF总被引频次
2025 年 12,909
2021 年 2.142 20,037
2020 年 1.920 18,854
2019 年 1.656 18,890
2018 年 1.620 16,415
怎么读这张表:每个数字上方是 IF 本身所属的年份,下方是它由哪一版分区表公布。 例如「2020 年 / 2021 版」= 2021 版分区表公布的 2020 年度影响因子,不是「2021 年的 IF」。
数据范围:本站影响因子覆盖 2015–20202025 年度; 2021–2024 年缺失 —— 这几年没有可用的数据源,本站不做插值、也不拿旧年份的值顶替。 最早年份由分区表公布,2025 年度为 JCR 年度值。

收录与标记

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综述期刊
Open Access
OA Journal Index
其它名称: J VAC SCI TECHNOL A(short) ·

2018 年 · 同类可替代期刊

依据小类重合度排序:小类越接近,投稿范围与审稿口味通常也越接近。
期刊ISSN分区备注
Thin Solid Films 0040-6090 3 区 共享 2 个小类 加入对比
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 0257-8972 3 区 共享 2 个小类 加入对比
International Journal of Surface Science and Engineering 1749-785X 4 区 共享 2 个小类 加入对比
APPLIED SURFACE SCIENCE 0169-4332 2 区 共享 2 个小类 加入对比
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING 0272-4324 3 区 共享 1 个小类 加入对比
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 0022-0248 3 区 共享 1 个小类 加入对比
SOLID-STATE ELECTRONICS 0038-1101 3 区 共享 1 个小类 加入对比
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 0021-8979 3 区 共享 1 个小类 加入对比